玻璃基板應用超純水設(shè)備制備清洗用水
玻璃基板是構(gòu)成液晶顯示器件的一個基本部件,這是一種表面極其平整的浮法生產(chǎn)薄玻璃片,現(xiàn)已被廣泛應用于筆記本電腦、手機、攝像機、平板電腦等領(lǐng)域,玻璃基板的生產(chǎn)自動化系統(tǒng)的工序中,需要用超純水沖洗基板并進行化學處理,而化學處理中化學液需要用一定濃度的化學原液與超純水混合配置,化學液直接與工件進行接觸,若超純水設(shè)備產(chǎn)水水質(zhì)不純,將會影響產(chǎn)品良率。
玻璃基板超純水傳統(tǒng)制備工藝是采用陰陽樹脂交換設(shè)備,該工藝的缺點在于樹脂在使用一段時間以后要經(jīng)常再生,隨著膜分離技術(shù)的不斷成熟,滲源常采用反滲透工藝,或是采用反滲透后面再經(jīng)過電去離子EDI工藝、拋光混床來制取超純水,保證出水水質(zhì)符合行業(yè)標準,滿足芯片行業(yè)用水需求。
玻璃基板超純水設(shè)備主要具有以下特點:
1.全自動智能識別,并且具有故障預警功能,安全可靠。
2.操作簡單,顯示數(shù)據(jù)簡明清晰,參數(shù)全面,易于綜合考量分析。
3.純化模塊分工明確,部分更換不會影響總體工藝流程。
4.專業(yè)配備預處理模塊,對進水有機物和余氯的去除更徹底,反滲透膜的使用壽命更長。
5.多功能脫鹽凈化處理單元,逐級脫鹽處理,最終滿足用水水質(zhì)要求。
6.配備高精度的電阻率檢測系統(tǒng),全面監(jiān)控超純水設(shè)備的運行和水質(zhì)變化。
7.運行成本和維修成本低,并且操作簡單,勞動強度低。
滲源超純水設(shè)備,超純水精度可達美標E1.3,采用膜表面嫁接技術(shù)達到更好的脫鹽率,能連續(xù)、穩(wěn)定地生產(chǎn)高純度的超純水。已成功應用到晶圓、電子芯片、集成電路、精密儀器、電鍍涂裝、試劑稀釋、氟化工等多個領(lǐng)域。
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