中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)：電子級(jí)水(GB/T 11446.1-2013)

電子級(jí)水

1 范圍

GB/T 11446 的本部分規(guī)定了電子級(jí)水的級(jí)別、技術(shù)指標(biāo)要求、試驗(yàn)方法和檢測(cè)規(guī)則。

本部分使用與電子和半導(dǎo)體工業(yè)永高純清洗用水。

2 規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。

GB/T 11446.3-2013 電子級(jí)水測(cè)試方法通則

GB/T 11446.4-2013 電子級(jí)水電阻率的測(cè)試方法

GB/T 11446.5-2013 電子級(jí)水中痕量金屬的原子吸收分光光度測(cè)試方法

GB/T 11446.6-2013 電子級(jí)水中二氧化硅的分光光度測(cè)試方法

GB/T 11446.7-2013 電子級(jí)水中痕量陰離子的離子色譜測(cè)試方法

GB/T 11446.8-2013 電子級(jí)水中總有機(jī)碳的測(cè)試方法

GB/T 11446.9-2013 電子級(jí)水中微粒的儀器測(cè)試方法

GB/T 11446.10-2013 電子級(jí)水細(xì)菌總數(shù)的濾膜培養(yǎng)測(cè)試方法

3 術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本文件。

3.1

電子級(jí)水 electronic grade water

電子和半導(dǎo)體工藝過程中所用的高純水。

3.2

電阻率 resistivity

在規(guī)定溫度下，1cm3(正立方體)水溶液兩相對(duì)面之間測(cè)得的電阻值。通常用符號(hào)ρ表示，單位為歐姆厘米(Ω·cm),純水的理論電阻率為18.3MΩ·cm(25℃)。

3.3

全硅 total silicon

水中可溶性硅和以二氧化硅膠體狀態(tài)存在的硅的總量。

3.4

可溶性硅 soluble silicon

以單一分子狀態(tài)存在于水中的溶解性硅酸鹽。

3.5

微粒性物質(zhì) granular matter

除氣體外，以非液體分散在水中，并形成非均相混合物的物質(zhì)。

3.6

總有機(jī)碳 total organic carbon;TOC

水中以各種有機(jī)物形式存在的碳的總量。包括易被一般強(qiáng)氧化劑氧化的有機(jī)物和需用特殊方法氧化的有機(jī)物。

3.7

吸附 absorption

某些多孔性粒狀物質(zhì)由于表面活性作用而具有吸著某些物質(zhì)的現(xiàn)象。

3.8

凝聚 coagulation

在源水中加入某種電解質(zhì)后，水中帶有電荷的膠體微粒被電解質(zhì)中的異種電荷中和，從而使其聚集成較大顆粒而沉降的現(xiàn)象。

3.9

絮凝 flocculation

水中的微粒在一定條件下相互碰撞而集結(jié)為絮狀沉淀的現(xiàn)象。絮凝一般是再凝聚作用后緩慢進(jìn)行，可除去水中更細(xì)的微粒。

3.10

砂濾器 sand filter

用于盛放不同直徑的砂粒，以除去源水中懸浮固體和渾濁物的裝置。

3.11

活性碳過濾器 activated carbon filter

裝有粒狀活性碳的過濾器，用于除去水中的可溶性有機(jī)物和過量的殘余氯。

3.12

離子交換 ion exchange

一種不溶性物質(zhì)與一種液體之間相互交換離子的可逆過程，該過程中物質(zhì)并無實(shí)質(zhì)性結(jié)構(gòu)變化。

3.13

離子交換樹脂 ion-exchange resin

一種合成的有機(jī)離子交換材料。

3.14

去離子水 deionized water

經(jīng)過離子交換處理，除去了呈離子形式的雜質(zhì)的高純水

3.15

再生 regeneration

離子交換過程操作循環(huán)中的一部分。在該部分中，用一定量的化學(xué)試劑通過離子交換樹脂使其恢復(fù)交換能力。

3.16

復(fù)合床 complex bed

將陽離子交換樹脂和陰離子交換樹脂分別裝入兩個(gè)離子交換柱中，將兩柱串聯(lián)，使水依次通過兩個(gè)柱而被純化。

3.17

混合床 mixed bed

將陽離子交換樹脂和陰離子交換樹脂混合均勻，填充于同一離子交換柱中，其純化效果相當(dāng)于許多復(fù)合床串聯(lián)使用。

3.18

電滲析 electrodialysis

一種分離水中離子的方法。在電滲析器中，陰陽兩極之間用交替排列的陰、陽離子交換膜分割成一系列小室。水流通過小室時(shí)，在電流電場(chǎng)作用下，水中陽離子向陰極方向移動(dòng)，但不能通過陽膜;陰離子則相反。這樣就形成相間存在的濃、淡水室而達(dá)到提純水的目的。

3.19

逆向滲透 reverse osmosis

用半透膜將濃水和淡水隔開，并在弄水上施加比滲透壓更強(qiáng)的機(jī)械壓力，則濃水中大部分水透過半透膜而雜質(zhì)仍留在其中，達(dá)到分離提純的目的。

3.20

反滲透膜 reverse osmosis membrane

用于反滲透法制備純水的一種合成薄膜，其孔徑一般為0.02μm或更小，可用于除去無機(jī)離子、有機(jī)物、細(xì)菌等，使水純化。

3.21

微孔膜濾器 membrane filter

一種平均孔徑(直徑)大于0.01μm的薄膜，能把大于平均孔徑的微粒截留在其表面或附近。

3.22

超過濾 ultrafiltration

一種過濾方法，在一定壓力下使水流過超濾膜以除去水中的極細(xì)微粒、膠體和細(xì)菌等。

3.23

終端 terminal

高純水生產(chǎn)流程中經(jīng)過各道凈化工藝后，水的出口或使用地點(diǎn)。

3.24

無菌 sterile

不含任何活有機(jī)體(不論是活躍的或休眠的)。

3.25

PH

水溶液中氫離子活度的負(fù)對(duì)數(shù)或氫氧根離子活度倒數(shù)的負(fù)對(duì)數(shù)。

4 分類和標(biāo)記

4.1 分類

電子級(jí)水分為四個(gè)級(jí)別：Ⅰ級(jí)、Ⅱ級(jí)、Ⅲ級(jí)、Ⅳ級(jí)。

4.2 標(biāo)記

Ⅰ級(jí)電子級(jí)水標(biāo)記為：EW-Ⅰ。

Ⅱ級(jí)電子級(jí)水標(biāo)記為：EW-Ⅱ。

Ⅲ級(jí)電子級(jí)水標(biāo)記為：EW-Ⅲ。

Ⅳ級(jí)電子級(jí)水標(biāo)記為：EW-Ⅳ。

5 要求

電子級(jí)水的技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合表1規(guī)定。

表1 電子級(jí)水的技術(shù)指標(biāo)

項(xiàng)目		技術(shù)指標(biāo)
		EW-Ⅰ	EW-Ⅱ	EW-Ⅲ	EW-Ⅳ
電阻率（25℃）/MΩ·cm		≥18 （5%時(shí)間不低于17）	≥15 （5%時(shí)間不低于13）	≥12	≥0.5
全硅/（μg/L）		≤2	≤10	≤50	≤1000
微粒數(shù)/ （個(gè)/L）	0.05μm~0.1μm	500	-	-	-
	0.1μm~0.2μm	300	-	-	-
	0.2μm~0.3μm	50	-	-	-
	0.3μm~0.5μm	20	-	-	-
	＞0.5μm	4	-	-	-
細(xì)菌個(gè)數(shù)/（個(gè)/mL）		≤0.01	≤0.1	≤10	≤100
銅/（μg/L）		≤0.2	≤1	≤2	≤500
鋅/（μg/L）		≤0.2	≤1	≤5	≤500
鎳/（μg/L）		≤0.1	≤1	≤2	≤500
鈉/（μg/L）		≤0.5	≤2	≤5	≤1000
鉀/（μg/L）		≤0.5	≤2	≤5	≤500
鐵/（μg/L）		≤0.1	-	-	-
鉛/（μg/L）		≤0.1	-	-	-
氟/（μg/L）		≤1	-	-	-
氯/（μg/L）		≤1	≤1	≤10	≤1000
亞硝酸根/（μg/L）		≤1	-	-	-
溴/（μg/L）		≤1	-	-	-
硝酸根/（μg/L）		≤1	≤1	≤5	≤500
磷酸根/（μg/L）		≤1	≤1	≤5	≤500

 

6 試驗(yàn)方法

6.1 電阻率

電子級(jí)水的電阻率按GB/T 11446.4-013進(jìn)行測(cè)定。

6.2 全硅含量(以二氧化硅計(jì))

電子級(jí)水全硅(以二氧化硅計(jì))含量按GB/T 11446.6-2013進(jìn)行測(cè)定。

6.3 微粒數(shù)

電子級(jí)水中微粒數(shù)按GB/T 11446.9-2013進(jìn)行測(cè)定。

6.4 細(xì)菌總數(shù)

電子級(jí)水中細(xì)菌總數(shù)按GB/T 11446.10-2013進(jìn)行測(cè)定。

6.5 痕量金屬含量

電子級(jí)水中痕量金屬的含量按GB/T 11446.5-2013進(jìn)行測(cè)定。

6.6 氟離子、氯離子、亞硝酸根離子、溴離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的含量

電子級(jí)水中氟離子、氯離子、亞硝酸根離子、溴離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的含量按GB/T 11446.7-2013進(jìn)行測(cè)定。

6.7 總有機(jī)碳含量

電子級(jí)水中總有機(jī)碳含量按GB/T 11446.8-2013進(jìn)行測(cè)定。

7 檢驗(yàn)規(guī)則

7.1檢驗(yàn)部門

電子級(jí)水的檢驗(yàn)均應(yīng)在有資質(zhì)的檢驗(yàn)部門進(jìn)行。

7.2 檢驗(yàn)分類

電子級(jí)水的檢驗(yàn)分為交收檢驗(yàn)和例行檢驗(yàn)。

7.3交收檢驗(yàn)

7.3.1 抽驗(yàn)項(xiàng)目

電子級(jí)水中電阻率、鈉離子、全硅(以二氧化硅計(jì))為交收檢驗(yàn)項(xiàng)目。

7.3.2 合格判據(jù)

在用水終端采樣，檢驗(yàn)后檢驗(yàn)結(jié)果如有一項(xiàng)或一項(xiàng)以上不合格時(shí)，應(yīng)再次采樣經(jīng)行檢驗(yàn)，如仍不合格，則該批不合格，應(yīng)提出改進(jìn)措施直到水質(zhì)合格。

7.4 例行檢驗(yàn)(全檢項(xiàng)目)

7.4.1 檢驗(yàn)項(xiàng)目

檢驗(yàn)項(xiàng)目為表1規(guī)定的全部項(xiàng)目。檢驗(yàn)順序應(yīng)以不影響后序?qū)嶒?yàn)結(jié)果的原則進(jìn)行檢驗(yàn)。

7.4.2 不合格判定

在用水終端采樣后進(jìn)行例行檢驗(yàn)，檢驗(yàn)結(jié)果如有不合格項(xiàng)時(shí)，應(yīng)再次采樣進(jìn)行檢驗(yàn)，如仍有不合格項(xiàng)時(shí)，應(yīng)提出改進(jìn)措施直到水質(zhì)合格。

7.4.3 檢驗(yàn)頻次

例行檢驗(yàn)至少每年進(jìn)行一次，當(dāng)制水條件發(fā)生變更時(shí)也應(yīng)進(jìn)行例行檢驗(yàn)。

8 采樣、貯存、運(yùn)輸及標(biāo)志

8.1采樣、貯存、運(yùn)輸

電子級(jí)水的采樣、貯存、運(yùn)輸應(yīng)符合GB/T 11446.3-2013的規(guī)定。

8.2 標(biāo)志

在用水終端采樣進(jìn)行檢驗(yàn)時(shí)，水質(zhì)合格后應(yīng)附有檢驗(yàn)合格證，合格證應(yīng)包含如下內(nèi)容：

名稱及級(jí)別;

各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo);

制水單位;

供水日期;

檢驗(yàn)員簽章及檢驗(yàn)日期。